仪器名称：场发射扫描电子显微镜 FE-1050系列
仪器型号：FE-1050系列
制 造 商：纳克微束
原 产 地：中国北京
联系电话：010-67802360
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| 型号 | FE-1050系列 | ||||
| 1.电子光学系统 | |||||
| 电子枪 | Schottky 场发射型 | ||||
| 物镜类型 | 非浸没电磁复合透镜 | ||||
| 加速电压 | 0.02-30KV | ||||
| 束斑电流 | 10pA 至 30nA（100nA 选配） | ||||
| 放大倍数 | 10x - 1,000, 000x | ||||
| 分辨率 | SE | 1.5nm(1KV)、0.9nm(15KV) | |||
| BSE(选配) | 2.5nm(1KV)、1.5nm(15KV) | ||||
| STEM | 0.8nm（30KV） | ||||
| 2.真空系统 | |||||
| 离子泵（IGP） | 25 L/s+2X20L/s | ||||
| 涡轮分子泵（TMP） | 250 L/s (N2) | ||||
| 前级真空泵 | 15m³/h 机械泵、无油涡旋机械泵（选配） | ||||
| 电子枪真空 | <1.0x10-7 Pa | ||||
| 主样品室极限真空 | <1.0x10-4 Pa | ||||
| 样品室接口数 | 27 个 | ||||
| 预抽室 | 50mm 样品托盘自动送样 4/6 英寸晶圆自动送样（选配） | ||||
| 预抽室光学导航 | |||||
| 3.样品运动平台 | |||||
| 样品台行程 | X | 140mm | |||
| Y | 140mm | ||||
| Z | 60mm | ||||
| R | 连续 360° | ||||
| T | -10°~80° | ||||
| 重复定位精度 | X/Y/Z≤1um（选配） | ||||
| 样品最大承重 | 5kg | ||||
| 4.图像处理系统 | |||||
| 最小驻留时间 | 20ns | ||||
| 采集方式 | 4 通道同步采集 | ||||
| 最大图像分辨率 | 24kx24k 像素 | ||||
| 5.数据处理系统 | |||||
| CPU | Intel Xeon E5 及以上处理器 | ||||
| 内存 | 32G | ||||
| 显卡 | 显存≥24G，位宽≥384bit | ||||
| 显示器 | 34 英寸超宽屏显示器 | ||||
| 控制台 | 人体工程学可升降操控台 | ||||
| 6.探测器系统 | |||||
| 检测器 | In-Column SE 探测器 ET- SE 探测器 插入式 BSE 探测器（选配） STEM 探测器（选配） 红外 CCD 主腔室监控-3 路 | ||||
| 附件（选配） | 斜插式能谱仪（EDS） 平插式能谱仪（Flat-EDS） 波谱仪（WDS） 电子背散射衍射仪（EBSD） 阴极荧光探测器（CL） 聚焦离子束（FIB） 原位拉伸加热台/制冷台 冷冻转移样品仓等第三方附件设备 | ||||
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